北京时间10月9日早间消息缘由

到目前，我国在MOCVD装备国产化方面已经迈进了1大步，并且在市场推行方面取得了阶段性的成果。但是应当看到，我国MOCVD大型装备制造的产业化还仅仅处于起步阶段，与目前国际两家大型MOCVD装备制造企业相比，不论是技术还是市场，都还不具有明显优势，但是在市场灵活性和服务本土化方面则有着国外企业没法企及的优势。在肯定前期成果与收获的同时，如何实现突破，是国内MOCVD设备制造相关的各界需要面临和应对的重要挑战。

技术追逐的 获 与创新优化的 惑

从技术的角度看，我国国产的MOCVD设备在基本工艺和产出外延片芯片的性能指标上都已经到达了现有进口设备的水平，技术开发和技术落地上已取得了阶段性成功，为实现下一步的目标奠定了坚实的基础。

但是，在进入产业化生产时设备本身的大批量、高可靠性和重复性、低成本、关键零部件国产化，以及装备生产外延产品时如何提高稳定性、产品良率、下降材料使用量等方面，依然有大量需要进一步创新和优化的工作要做。

在技术上如何从追逐者变身为竞争者，甚至提升为领导者，还有很多的 惑 要解，还有很长的路要走，只有不断的技术创新才是我国MOCVD制造产业实现突破、迈向成功的根本之路。

产业关注的 获 与市场切入的 惑

近年来我国行业的高速发展对MOCVD产生巨大需求，引发了各界关注，让产业各界看到了研发和生产国产MOCVD的必要性和紧迫性，由此开始了一个MOCVD国产化的高潮。但是在这期间国际巨头携技术优势已垄断性占领市场，为国产MOCVD进入市场制造了巨大的压力和困难，有业界人士甚至以 生不逢时 来形容。

2012-201 年，我国半导体照明行业的发展速度放缓，出现了一定时期的调剂，应该说给还不太成熟的国内装备厂商提供了成长空间和机会，国内多家企业此间推出生产型样机，并开始进入外延芯片生产企业试用，扬州乾照、、璨扬光电等多家外延芯片企业由此成为第一批 吃螃蟹 的人。

与产业对国产MOCVD研发进展的高度关注形成反差的是，这些国产MOCVD进入企业试产之后就归于沉寂，没了下文。虽然多家研发企业对形势判断乐观，认为2014-2015年将有一定数量的国产MOCVD出货，但现实的情况却是一方面外延芯片企业对国产MOCVD装备信心不足，不敢贸然出手承担风险，另一方面国际巨头通过更新技术、降低价格对国产装备进行多方面的打压。

因此，MOCVD设备国产化，不仅需要研发企业的创新突破能力，也需要合作各方资金的投入能力，更需要的是厂家对国产设备的信任程度。从推出样机到进入生产线试生产，再到批量制造，用户大规模使用，这是MOCVD设备发展的必经之路，不管是装备制造商还是芯片厂家都不能急于一时。在这场蚂蚁撼大树的较量中比的是实力，也是耐力。

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